Vakuumsauger der ZP3P-Serie
Längsvakuum-Ausführungstyp der ZP3P-Serie mit Puffer
Der Längsvakuum-Auslasstyp mit Puffer der ZP3P-Serie ist eine Partikelflussführung, die für Hochvakuumumgebungen entwickelt wurde. Seine Kernfunktion besteht darin, eine effiziente und stabile Extraktion longitudinaler Partikelstrahlen zu erreichen. Gleichzeitig optimiert es die Partikelübertragungsdynamik durch integrierte Pufferstrukturen, um den Anforderungen industrieller Präzisionsprozesse gerecht zu werden.
Wichtigste technische Merkmale
Längsvakuumextraktionsarchitektur
Das axialsymmetrische Vakuumkanaldesign wird übernommen, um sicherzustellen, dass der Partikelfluss entlang der Hauptachse der Anlage gerichtet ist, die durch seitliche Absaugung verursachte Strömungsfeldverzerrung vermieden wird und die Luftströmungsintegrität der Vakuumkammer aufrechterhalten wird.
Eingebetteter Puffermechanismus
Die eingebaute mehrstufige dynamische Puffereinheit realisiert die Vorregulierung des hochenergetischen Partikelflusses durch berührungslose Regulierung des Energiegradienten, verringert die Divergenz des Partikelphasenraums und sorgt für einen Partikelstrahl mit besserer Kollimation für nachgelagerte Prozesse.
Vakuumkompatibles Design
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Optimierung der Getriebedynamik
Durch das aufeinander abgestimmte Design des Puffermoduls und des Extraktionskanals wird eine aktive Komprimierung des Teilchenenergiespektrums realisiert, Streuverluste wirksam unterdrückt und die Strahlqualität verbessert, was sich besonders für Anwendungsszenarien mit strengen Anforderungen an die Monochromatizität eignet.
Anpassungsfähigkeit industrieller Systeme
Die Standard-Flanschschnittstelle unterstützt die modulare Integration und kann nahtlos an verschiedene Vakuumprozesskammern angeschlossen werden. Sein nicht magnetisiertes Strukturdesign erweitert seine Anwendbarkeit in magnetfeldempfindlichen Umgebungen weiter.
